Dans une usine de semi-conducteurs, quelle est la principale raison de l'électropolissage (EP) de la surface intérieure des tuyauteries inox distribuant des gaz de haute pureté ?

Réponse : B. Lisser la surface intérieure pour limiter la génération de particules ainsi que l'adsorption et le relargage d'humidité et d'impuretés

Une surface intérieure rugueuse génère des particules et adsorbe humidité et impuretés qui sont ensuite relarguées progressivement, ce qui dégrade la pureté du gaz. L'électropolissage rend la surface lisse comme un miroir et forme une couche passive stable riche en oxyde de chrome, limitant aussi la corrosion, afin d'acheminer le gaz de haute pureté jusqu'aux équipements sans le contaminer. On utilise souvent l'acier inoxydable à bas carbone SUS316L. Le but n'est ni l'allègement ni l'identification.