Welcher Reinraumtyp ordnet die Fertigungsanlagen in einem großen Raum mit wenigen Trennwänden an und stellt die Waferreinheit durch geschlossene Behälter wie FOUPs und Minienvironments sicher?

Antwort: C. Ballroom (Großraum)-Prinzip

Beim Ballroom-Prinzip werden die Anlagen in einem großen Raum ohne feine Unterteilung durch Wände angeordnet. Die Wafer werden durch geschlossene Behälter und die Minienvironments der Anlagen geschützt, sodass die Reinheit des gesamten Raums nicht so hoch sein muss und Anlagen leichter umgestellt werden können. Auch die OHT-Schienen lassen sich frei verlegen, weshalb das Prinzip in 300-mm-Fabriken weit verbreitet ist. Das Bay-Chase-Prinzip trennt Arbeits- und Wartungsbereiche durch Wände.