Nederlands
Menu

Cleanroom en productieapparatuur

Welke cleanroommethode houdt de reinheid in stand door schone lucht uit een deel van het plafond te blazen en met de lucht in de ruimte te mengen en te verdunnen? De reinheid is lager dan bij unidirectionele stroming, maar de installatiekosten zijn laag.

  1. ANiet-unidirectionele (turbulente) methode
  2. BDownflow (verticale unidirectionele) methode
  3. CMinienvironment-methode
Antwoord en toelichting tonen

Antwoord: A. Niet-unidirectionele (turbulente) methode

Bij de niet-unidirectionele methode wordt schone lucht uit plafondopeningen toegevoerd, met de lucht in de ruimte gemengd en afgevoerd terwijl deeltjes worden verdund. Er is minder luchtvolume nodig en installatie- en bedrijfskosten zijn laag, maar de haalbare reinheid is lager dan bij de unidirectionele methode en ze wordt toegepast in gebieden van circa ISO-klasse 6 tot 8. In halfgeleiderfabrieken wordt ze gebruikt in onder meer de back-end, sassen en gebieden buiten de minienvironment.

Dit onderwerp oefenen Naar de onderwerppagina

Meer vragen over Cleanroom en productieapparatuur

  1. Welk filter wordt gebruikt om moleculaire verontreinigingen (AMC) zoals ammoniak en organische stoffen uit de lucht van een cleanroom te verwijderen?
  2. Welk apparaat in de luchtbehandeling van een cleanroom verwijdert stof uit de aangevoerde buitenlucht, regelt temperatuur en vochtigheid en voert die vervolgens toe aan de circulatielucht in de ruimte?
  3. Welk geautomatiseerd magazijn in het geautomatiseerde transportsysteem van een halfgeleiderfabriek slaat FOUP's tijdelijk op totdat ze naar de volgende processtap gaan?
  4. Welke combinatie van benamingen voor het transport tussen bays en het transport tussen apparatuur binnen een bay in het geautomatiseerde transport van een fabriek met bays is juist?
  5. Welke cleanroommethode plaatst productieapparatuur in een grote ruimte met weinig scheidingswanden en waarborgt de reinheid van wafers met afgesloten containers zoals FOUP's en minienvironments?