ホール素子란?
ほーるそし
ホール効果を利用して磁界を検出するセンサ。電流を流した半導体に磁界をかけると、電流と磁界に垂直な方向に電圧が生じる。モーターの回転検出などに使われる。
일본어 명칭: ホール素子
분야: MEMS와 센서
ほーるそし
ホール効果を利用して磁界を検出するセンサ。電流を流した半導体に磁界をかけると、電流と磁界に垂直な方向に電圧が生じる。モーターの回転検出などに使われる。
일본어 명칭: ホール素子
분야: MEMS와 센서
加速度センサー 陽極接合 犠牲層エッチング 静電容量検出 MEMS コリオリ力 ジャイロスコープ スティクション ピエゾ抵抗効果 ボッシュプロセス(Deep RIE)