실리콘 웨이퍼

CZ법으로 불순물을 첨가한 결정을 인상하면 결정의 아래쪽(인상 후반)일수록 불순물 농도가 높아지는 경향이 있다. 그 이유로 올바른 것은?

  1. A중력으로 불순물이 아래로 가라앉기 때문
  2. B많은 불순물의 편석 계수가 1보다 작아, 결정에 잘 유입되지 않는 불순물이 융액 속에 농축되어 가기 때문
  3. C인상 후반일수록 온도가 낮기 때문
정답과 해설 보기

정답: B. 많은 불순물의 편석 계수가 1보다 작아, 결정에 잘 유입되지 않는 불순물이 융액 속에 농축되어 가기 때문

결정이 굳을 때 많은 불순물은 결정에 잘 유입되지 않고(편석 계수 k < 1) 융액 쪽에 남습니다. 예를 들어 인은 k ≈ 0.35, 비소는 약 0.3, 안티모니는 약 0.023입니다. 인상이 진행될수록 융액 속의 농도가 올라가므로 결정의 후반일수록 불순물 농도가 높고 저항률이 낮아집니다. 그래서 잉곳 하나에서도 사양 저항률에 들어가는 부분만 제품으로 쓰며, 편석이 작은 붕소는 균일하게 만들기 쉬운 불순물입니다.

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