이온 주입

비정질화한 층을 재결정화했을 때, 원래의 비정질층과 결정의 경계보다 조금 깊은 위치에 남는 결함을 무엇이라 하는가?

  1. AEOR(End of Range) 결함
  2. BCOP
  3. COSF
정답과 해설 보기

정답: A. EOR(End of Range) 결함

비정질화한 층 바로 아래 결정 쪽에는 튕겨 나온 과잉 격자간 실리콘이 모여 있습니다. 어닐링으로 위의 비정질층은 재결정화되어도, 이 위치의 격자간 실리콘이 모여 전위 루프 등의 결함이 남는 경우가 있으며, 이를 EOR(End of Range) 결함이라 합니다. 접합의 공핍층에 걸리면 누설 전류의 원인이 되므로, 비정질층의 깊이와 접합 위치의 관계를 주입과 어닐링 조건으로 조정합니다.

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