첨단 패키징(3D와 칩렛)

유리 코어 기판에서 구리를 채운 유리 관통 전극(TGV) 주위에 크랙(균열)이 생기기 쉬운 주된 이유로 올바른 것은?

  1. A유리가 전기를 통하므로 이웃한 TGV 사이에서 방전이 일어나기 때문에
  2. B구리와 유리의 열팽창 계수 차이가 커서 온도가 바뀔 때마다 TGV 주위에 응력이 생기기 때문에
  3. C유리는 유기 재료보다 부드러워 구멍 주위가 크게 변형되기 때문에
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정답: B. 구리와 유리의 열팽창 계수 차이가 커서 온도가 바뀔 때마다 TGV 주위에 응력이 생기기 때문에

유리 코어 기판은 패키지 기판의 코어재를 유기 재료에서 유리판으로 바꾼 것으로, 평탄하고 치수가 안정적이어서 대형 기판에서도 미세 배선을 형성하기 쉬울 것으로 기대됩니다. 반면 유리는 깨지기 쉬워, 구리를 채운 TGV 주위에서는 온도가 오르내릴 때마다 구리와 유리의 열팽창 차이에 의한 응력이 반복해서 가해져 미세한 크랙의 기점이 될 수 있습니다. 응력을 완화하는 구조와 재료, 유리의 강화, 장기 신뢰성 확인이 실용화의 과제입니다.

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