Qu'est-ce que Plaquette SOI ?

Réponse : B. La couche de silicium supérieure peut servir de structure et l’oxyde enterré de couche d’arrêt de gravure ou de couche sacrificielle

Dans une plaquette SOI, la couche supérieure de silicium monocristallin (quelques µm à quelques dizaines de µm) a une épaisseur précise et uniforme ; elle peut servir directement de matériau pour les structures mobiles, sans le problème de contrainte résiduelle du polysilicium. La gravure profonde s’arrête précisément sur l’oxyde enterré, et l’élimination de cet oxyde à l’acide fluorhydrique libère la structure, ce qui est pratique pour fabriquer des gyroscopes et des MEMS optiques. En contrepartie, ces plaquettes sont plus chères que les plaquettes de silicium ordinaires.

Réponse : C. Servir de gaine inférieure au guide d'onde et empêcher la lumière de fuir vers le substrat de silicium

Une plaquette SOI (Silicon on Insulator) se compose d'un substrat de silicium surmonté d'un oxyde enterré (BOX), lui-même recouvert d'une fine couche de silicium monocristallin. On réalise les guides d'onde en structurant la couche de silicium supérieure (une épaisseur de 220 nm est courante), et le BOX, d'indice faible, sert de gaine inférieure. Si le BOX est trop mince, la lumière qui déborde du guide (onde évanescente) fuit vers le substrat de silicium d'indice élevé ; on utilise donc souvent un BOX épais d'environ 2 à 3 µm. L'oxyde a une large bande interdite et n'absorbe ni n'émet de lumière.