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Matériaux de procédé (gaz et produits chimiques)

Quel est l'ordre de grandeur correct de la pureté requise pour une cible de pulvérisation de Cu destinée aux couches d'amorçage ?

  1. AUne haute pureté d'environ 6N (99,9999%)
  2. BEnviron 90%
  3. CEnviron 50%
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Réponse : A. Une haute pureté d'environ 6N (99,9999%)

Les impuretés d'une cible de pulvérisation passent directement dans le film et dégradent la résistance des interconnexions et leur tenue à l'électromigration. Une cible de Cu doit donc avoir une haute pureté d'environ 6N (99,9999 %). De plus, uniformiser la taille et l'orientation des grains stabilise la direction et la vitesse des atomes éjectés et améliore l'uniformité d'épaisseur. Avec une pureté de 90 % ou 50 %, le film n'est pas utilisable comme interconnexion.

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