Matériaux de procédé (gaz et produits chimiques)

Quelle est la principale raison pour laquelle les gaz et produits chimiques de fabrication de semi-conducteurs doivent être d'une très haute pureté ?

  1. APour supprimer les odeurs
  2. BParce que même des traces d'impuretés comme des métaux ou des particules dégradent les caractéristiques des composants et le rendement
  3. CPour augmenter les prix
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Réponse : B. Parce que même des traces d'impuretés comme des métaux ou des particules dégradent les caractéristiques des composants et le rendement

Des traces infimes de métaux comme le fer ou le cuivre dans les gaz ou produits chimiques, une fois dans le silicium, créent des niveaux au milieu de la bande interdite qui augmentent le courant de fuite et réduisent la durée de vie des porteurs. Les particules provoquent des défauts de motifs et des courts-circuits. Avec des milliards de transistors de quelques dizaines de nm, un seul défaut peut rendre une puce défectueuse, d'où un contrôle au niveau du ppb ou du ppt.

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