Pour quel usage l'eau ultrapure est-elle consommée en plus grande quantité dans les usines de semi-conducteurs ?

Réponse : C. Le nettoyage et le rinçage des plaquettes

L'eau ultrapure est consommée en grandes quantités pour le nettoyage des plaquettes effectué à chaque étape, à commencer par le rinçage après nettoyage chimique. Dans les grandes usines, la consommation peut atteindre plusieurs dizaines de milliers de tonnes par jour, et les installations qui récupèrent l'eau de rinçage pour la retraiter en eau ultrapure sont essentielles. Pour éliminer à l'extrême ions, matières organiques, particules et gaz dissous, on combine osmose inverse, échange d'ions, oxydation UV, ultrafiltration, etc.