Welche Kombination von Materialien wird für die reflektierende Mehrfachschicht von EUV-Masken verwendet?

Antwort: C. Molybdän und Silizium

Für EUV-Masken und Spiegel von Belichtungsanlagen werden Mehrfachschichten verwendet, in denen dünne Molybdän- und Siliziumschichten mit einer Periode von etwa 7 nm etwa 40-mal abwechselnd gestapelt sind. Da die Dicken so ausgelegt sind, dass das an den Grenzflächen jeweils etwas reflektierte Licht phasengleich ist, werden etwa 70 % des 13.5-nm-Lichts reflektiert. EUV wird von allen Stoffen stark absorbiert, daher sind statt Linsen reflektive Optiken nötig. Die Oberfläche wird mit einer Schutzschicht z. B. aus Ruthenium bedeckt.