Oxidation und Diffusion
Was ist als Abweichung vom Deal-Grove-Modell bekannt, wenn bei Trockenoxidation dünne Oxidfilme von höchstens einigen zehn nm Dicke erzeugt werden?
- ADie anfängliche Oxidation verläuft schneller als vom Modell vorhergesagt
- BDie Oxidation schreitet überhaupt nicht voran
- CDer Oxidfilm wird zum Leiter
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Antwort: A. Die anfängliche Oxidation verläuft schneller als vom Modell vorhergesagt
Das Deal-Grove-Modell beschreibt das Wachstum dicker Oxidfilme gut, doch im anfänglichen Bereich bei Trockenoxidation mit Dicken von höchstens einigen zehn nm verläuft die tatsächliche Oxidation schneller als vom Modell vorhergesagt. Als Ursachen werden andere Wege des Oxidationsmittels durch den dünnen Film und der Einfluss von Spannungen nahe der Grenzfläche vermutet. Im Modell wird dies als Anfangsdicke (τ, entsprechend etwa 20 nm) korrigiert, doch um die Dicke von Gateoxiden von einigen nm festzulegen, ist die Einstellung der Bedingungen durch Messung unverzichtbar.