산화와 확산

양질의 열산화막(SiO2)의 절연 파괴 전계의 기준으로 올바른 것은?

  1. A약 10 MV/cm
  2. B약 10 V/cm
  3. C약 10 kV/cm
정답과 해설 보기

정답: A. 약 10 MV/cm

양질의 열산화막의 절연 파괴 전계는 약 10 MV/cm로, 두께 10 nm라면 약 10 V에서 파괴되는 계산이 됩니다. 다만 그보다 낮은 전계에서도 장시간 인가하면 결함이 서서히 생겨 파괴에 이르므로(경시 절연 파괴, TDDB), 실제 소자에서는 10년간 사용할 수 있도록 수 MV/cm 정도 이하에서 사용합니다. 더 얇은 막에서는 터널 전류가 커지므로 파괴보다 먼저 누설이 문제가 됩니다.

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