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MEMS et capteurs

Quel est l’avantage des oscillateurs MEMS, parfois utilisés à la place des résonateurs à quartz comme source d’horloge ?

  1. ALeur stabilité en fréquence est toujours supérieure à celle du quartz
  2. BFabriqués par procédé semi-conducteur, ils sont petits, résistants aux chocs et faciles à intégrer aux circuits intégrés
  3. CIls sont grands et faciles à manipuler
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Réponse : B. Fabriqués par procédé semi-conducteur, ils sont petits, résistants aux chocs et faciles à intégrer aux circuits intégrés

Un oscillateur MEMS associe un microrésonateur en silicium à des circuits d’entretien, de compensation en température et de PLL, et se fabrique en série par procédé semi-conducteur. La fréquence de résonance du silicium varie fortement avec la température et est corrigée par circuit ; on atteint aujourd’hui une précision de quelques ±ppm. Petits, résistants aux chocs et aux vibrations, réglables librement en fréquence et d’approvisionnement stable, ils remplacent le quartz dans l’automobile, les wearables, etc.

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