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MEMS et capteurs

Quel capteur MEMS mesure un débit en exploitant le transport de la chaleur d’une résistance chauffante par l’écoulement du gaz ?

  1. ADébitmètre thermique
  2. BÉlément Hall
  3. CDMD
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Réponse : A. Débitmètre thermique

Le débitmètre thermique place une résistance chauffante et des capteurs de température en amont et en aval sur une fine membrane isolée thermiquement d’environ 1 µm d’épaisseur. Lorsque le gaz s’écoule, l’amont se refroidit et l’aval se réchauffe ; l’écart de température donne le débit et le sens de l’écoulement. La membrane mince, de faible capacité thermique, assure une réponse rapide et une faible consommation. Il est utilisé pour le débit d’air d’admission des moteurs (débitmètre d’air), les compteurs de gaz et des équipements médicaux comme les respirateurs.

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