MEMS und Sensoren

Welche Aussage zur Kombination von MEMS-Sensor und Signalverarbeitungsschaltung ist korrekt?

  1. AEine Kombination ist nicht möglich
  2. BSie müssen stets auf demselben Chip integriert werden
  3. CEs gibt die Integration auf demselben Chip und das Unterbringen getrennter Chips in einem Gehäuse
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Antwort: C. Es gibt die Integration auf demselben Chip und das Unterbringen getrennter Chips in einem Gehäuse

Werden MEMS und Signalverarbeitungsschaltung auf demselben Chip hergestellt, sind die parasitären Kapazitäten klein und lässt sich der Chip verkleinern, doch müssen die Prozesse beider vereinbar sein, was aufwendig ist. Weit verbreitet ist auch, die Chips jeweils im optimalen Prozess zu fertigen und in einem Gehäuse nebeneinander oder gestapelt anzuordnen; die meisten Smartphone-Sensoren nutzen dieses Verfahren. In jüngerer Zeit wird auch ein Verfahren verwendet, bei dem MEMS-Wafer und CMOS-Wafer verbunden und vereint werden.

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