MEMS・センサ

MEMSセンサとその信号処理回路を組み合わせる方法について正しいものはどれか。

  1. A組み合わせることはできない
  2. B必ず同じチップに集積しなければならない
  3. C同じチップに集積する方法と、別々のチップを1つのパッケージに収める方法がある
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正解：C. 同じチップに集積する方法と、別々のチップを1つのパッケージに収める方法がある

MEMSと信号処理回路を同じチップにつくり込むと小型化や配線の短縮ができますが、工程が複雑になります。それぞれ最適なプロセスで別々のチップをつくり、1つのパッケージに収める方法も広く使われています。用途やコストに応じて選ばれます。

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