MEMS und Sensoren
Warum werden bei der MEMS-Fertigung häufig SOI-Wafer verwendet?
- AWeil SOI-Wafer die preiswertesten Wafer sind
- BWeil die obere Siliziumschicht als Struktur und das vergrabene Oxid als Ätzstoppschicht oder Opferschicht dienen kann
- CWeil SOI-Wafer kein Licht durchlassen
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Antwort: B. Weil die obere Siliziumschicht als Struktur und das vergrabene Oxid als Ätzstoppschicht oder Opferschicht dienen kann
Bei SOI-Wafern ist die Dicke der oberen einkristallinen Siliziumschicht (einige µm bis einige zehn µm) genau einheitlich, sodass sie unmittelbar als Material für bewegliche Strukturen dienen kann und kein Problem mit Restspannung wie bei Polysilizium besteht. Das Tiefenätzen stoppt genau am vergrabenen Oxid, und wird dieses mit Flusssäure entfernt, kann die Struktur freigestellt werden, was für die Herstellung von Gyros und optischen MEMS praktisch ist. Dafür sind die Wafer teurer als normales Silizium.