MEMS et capteurs

Sur quel phénomène repose le filtre BAW utilisé comme filtre radiofréquence dans les smartphones ?

  1. AL’effet Hall
  2. BLa résonance mécanique d’un film mince piézoélectrique
  3. CL’effet Seebeck
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Réponse : B. La résonance mécanique d’un film mince piézoélectrique

Le filtre BAW (onde acoustique de volume) utilise des résonateurs constitués d’un film mince piézoélectrique d’environ 1 µm, en nitrure d’aluminium (ou ScAlN), pris entre deux électrodes. Le film vibre dans son épaisseur et résonne à une fréquence déterminée par celle-ci ; cette propriété ne laisse passer que les signaux de la bande de fréquences voulue. Ses faibles pertes aux hautes fréquences, d’environ 1.5 à 6 GHz, expliquent qu’on en trouve plusieurs dizaines dans les smartphones 5G, qui utilisent de nombreuses bandes.

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