이온 주입
주입된 이온이 물질 안에서 에너지를 잃는 두 가지 메커니즘의 조합으로 올바른 것은 무엇인가?
- A원자핵과의 충돌(핵 저지)과 전자와의 상호작용(전자 저지)
- B열전도와 복사
- C전기 저항과 자기 저항
정답과 해설 보기
정답: A. 원자핵과의 충돌(핵 저지)과 전자와의 상호작용(전자 저지)
이온의 에너지 손실은 원자핵과의 탄성 충돌에 의한 핵 저지와, 물질 안의 전자를 여기·이온화하는 전자 저지로 나뉩니다. 무거운 이온이나 낮은 에너지에서는 핵 저지가, 가벼운 이온이나 높은 에너지에서는 전자 저지가 주가 되며, 예를 들어 실리콘 중의 붕소에서는 십수 keV 이상에서 전자 저지가 우세합니다. 핵 저지는 결정 손상의 주된 원인이며, 이들은 LSS 이론이나 SRIM 등의 시뮬레이션으로 계산됩니다.
- A. 올바릅니다. 핵 저지와 전자 저지의 두 가지입니다.
- B. 열전도나 복사는 이온이 멈추는 주된 메커니즘이 아닙니다.
- C. 저항의 종류가 아닙니다.