Welke combinatie van de twee mechanismen waarmee geïmplanteerde ionen energie in een materiaal verliezen, is juist?

Antwoord: A. Botsingen met atoomkernen (nucleaire stopping) en wisselwerking met elektronen (elektronische stopping)

Het energieverlies van ionen wordt ingedeeld in nucleaire stopping door elastische botsingen met atoomkernen en elektronische stopping door excitatie en ionisatie van elektronen in het materiaal. Bij zware ionen en lage energie is nucleaire stopping dominant, bij lichte ionen en hoge energie elektronische stopping; bij boor in silicium is elektronische stopping bijvoorbeeld bij ruim 10 keV of meer dominant. Nucleaire stopping is de belangrijkste oorzaak van kristalschade, en dit wordt berekend met de LSS-theorie en simulaties zoals SRIM.