Welche Kombination der beiden Mechanismen, durch die implantierte Ionen in Materie Energie verlieren, ist korrekt?

Antwort: A. Stöße mit Atomkernen (nukleares Abbremsen) und Wechselwirkung mit Elektronen (elektronisches Abbremsen)

Der Energieverlust von Ionen teilt sich in nukleares Abbremsen durch elastische Stöße mit Atomkernen und elektronisches Abbremsen durch Anregung und Ionisation von Elektronen im Material. Bei schweren Ionen und niedriger Energie überwiegt das nukleare, bei leichten Ionen und hoher Energie das elektronische Abbremsen; bei Bor in Silizium überwiegt das elektronische ab etwa zehn und mehr keV. Das nukleare Abbremsen ist die Hauptursache der Kristallschäden, und beide werden mit der LSS-Theorie oder Simulationen wie SRIM berechnet.