이온 주입
이온 주입 장치에서 가속 전압 50 kV로 2가 이온(전하가 2배)을 가속했을 때의 에너지는 얼마인가?
- A100 keV
- B25 keV
- C50 keV
정답과 해설 보기
정답: A. 100 keV
이온이 얻는 에너지는 '전하 × 가속 전압'으로 정해지며, 1가라면 50 keV, 2가라면 100 keV, 3가라면 150 keV가 됩니다. 이 성질을 이용하면 장치의 최대 전압보다 높은 에너지로 주입할 수 있어 깊은 웰 형성 등에 사용됩니다. 다만 다가 이온은 이온 소스에서의 생성량이 적어 빔 전류가 작으므로 고도즈에는 적합하지 않습니다. 반대로 분자 이온은 저에너지화에 사용됩니다.
- A. 올바릅니다. 2 × 50 kV = 100 keV입니다.
- B. 25 keV는 전하를 절반으로 한 값입니다.
- C. 50 keV는 1가 이온의 경우입니다.