CMP와 세정
다수의 웨이퍼를 같은 세정액 조에 담가 세정하는 배치식 세정의 주의점으로 올바른 것은?
- A웨이퍼에서 녹아 나오거나 떨어진 오염이 액체를 통해 다른 웨이퍼로 옮겨 갈(상호 오염) 우려가 있다
- B한 장씩만 처리할 수 있다
- C약액을 전혀 사용하지 않는다
정답과 해설 보기
정답: A. 웨이퍼에서 녹아 나오거나 떨어진 오염이 액체를 통해 다른 웨이퍼로 옮겨 갈(상호 오염) 우려가 있다
배치식은 50장 정도의 웨이퍼를 같은 조에서 처리하므로 처리량이 높은 한편, 어떤 웨이퍼에서 나온 오염(금속, 파티클, 레지스트 잔류물)이 액체 속에 퍼져 다른 웨이퍼에 부착될 우려가 있습니다. 그래서 액 교환 빈도와 순환·여과, 농도 관리가 중요하며, 오염에 민감한 공정이나 웨이퍼마다 조건을 바꾸고 싶은 공정에서는 매엽식이 사용됩니다.
- A. 올바릅니다. 액체를 통한 상호 오염에 주의해야 합니다.
- B. 배치식은 다수의 웨이퍼를 동시에 처리합니다.
- C. 배치식도 약액을 사용하여 세정합니다.