Quel avantage présente un équipement de nettoyage monoplaquette, qui traite les plaquettes une par une ?

Réponse : C. La contamination croisée entre plaquettes est limitée et les conditions de traitement sont faciles à maîtriser plaquette par plaquette

Le nettoyage monoplaquette pulvérise les produits par une buse sur la plaquette en rotation et traite les plaquettes une par une ; la contamination se transmet difficilement d'une plaquette à l'autre, la température, le débit et la durée peuvent être finement réglés pour chaque plaquette, et les faces avant, arrière et le bord peuvent être nettoyés séparément. Le nettoyage par lots, qui immerge de nombreuses plaquettes dans des bains, offre un débit élevé et consomme moins de produits, mais comporte un risque de contamination croisée. La part du monoplaquette augmente dans les procédés avancés ; les principaux fabricants sont SCREEN et Tokyo Electron.