웨이퍼를 한 장씩 처리하는 매엽식 세정 장비의 장점으로 올바른 것은?

정답: C. 웨이퍼 간 상호 오염이 잘 일어나지 않고, 처리 조건을 한 장씩 제어하기 쉽다

매엽식 세정에서는 회전하는 웨이퍼에 노즐로 약액을 분사하여 한 장씩 처리하므로 다른 웨이퍼로부터 오염이 옮겨 가기 어렵고, 약액의 온도·유량·시간을 한 장 단위로 세밀하게 제어할 수 있으며 앞뒷면이나 외곽을 개별적으로 세정할 수도 있습니다. 다수의 웨이퍼를 약액조에 담그는 배치식은 처리량이 높고 약액 사용량도 적은 반면 상호 오염의 위험이 있습니다. 선단 공정에서는 매엽식의 비중이 늘고 있으며, 주요 제조사로는 SCREEN과 도쿄일렉트론이 있습니다.