Quel élément, libéré par exemple par les filtres en fibres de verre, peut provoquer un dopage (contamination) involontaire des plaquettes ?

Réponse : A. Le bore

Certains filtres HEPA en fibres de verre utilisent du verre borosilicaté, qui peut réagir notamment avec les vapeurs d'acide fluorhydrique et libérer des gaz contenant du bore. Déposé à la surface des plaquettes, il agit comme impureté de type p et provoque un dopage involontaire qui décale les caractéristiques. On utilise donc des filtres à média pauvre en bore ou des filtres chimiques. L'or et le fer sont des contaminants métalliques créant des niveaux profonds, mais ne proviennent pas typiquement des filtres.