Was ist Zufällige Dotierstoffschwankung (RDF)?

Schwankung der Einsatzspannung bei kleinen Transistoren, verursacht durch statistische Unterschiede in Anzahl und Lage der Dotieratome im Kanal. FinFETs und FD-SOI, die schwach dotierte Kanäle erlauben, verringern sie.

Japanische Bezeichnung: ランダムドーパントゆらぎ(RDF)

Fachgebiet: Fortschrittliche Transistoren (FinFET und GAA)

Verwandte Begriffe

CFET (komplementärer FET) DTCO (Entwurf-Technologie-Co-Optimierung) EOT (äquivalente Oxiddicke) FD-SOI (vollständig verarmtes SOI) FinFET GAA (Gate-all-around) Gate-last (Replacement-Metal-Gate) High-k/Metall-Gate Nanosheet-Transistor SADP (selbstjustierte Doppelstrukturierung)

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