ランダムドーパントゆらぎ(RDF)란?
らんだむどーぱんとゆらぎ
微細なトランジスタで、チャネル中の不純物原子の数や位置の統計的なばらつきによって、しきい値電圧がばらつく現象。チャネルを低濃度にできるFinFETやFD-SOIで抑えられる。
일본어 명칭: ランダムドーパントゆらぎ(RDF)
관련 용어
CFET(相補型FET) DTCO(設計・技術協調最適化) EOT(等価酸化膜厚) FD-SOI(完全空乏型SOI) FinFET GAA(ゲートオールアラウンド) High-k/メタルゲート SADP(自己整合ダブルパターニング) ゲートラスト(リプレースメントメタルゲート) ナノシート