Test und Prüfung

Welche Aussage zur Probe Card ist richtig?

  1. AEine Gussform zum Vergießen von Chips
  2. BEin Behälter zum Transport von Wafern
  3. CEine Vorrichtung, die Nadeln mit den Elektroden der Chips auf dem Wafer in Kontakt bringt und sie elektrisch mit dem Tester verbindet
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Antwort: C. Eine Vorrichtung, die Nadeln mit den Elektroden der Chips auf dem Wafer in Kontakt bringt und sie elektrisch mit dem Tester verbindet

Die Probe Card ist eine produktspezifische Vorrichtung, in der viele Nadeln entsprechend der Anordnung der Elektrodenpads der Chips angeordnet sind. Der Prober richtet den Wafer mit einer Kamera aus, hebt den Chuck an, bringt Nadeln und Pads in Kontakt und verbindet Tester und Chip elektrisch. Bei den Nadeltypen gibt es Cantilever-Nadeln mit schräger Nadel, vertikale Typen und mit MEMS-Technik hergestellte Typen. Gussformen und Transportbehälter sind etwas anderes.

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