Prozessmaterialien (Gase, Chemikalien)

Wie heißt der Vorgang, bei dem vor dem Öffnen einer Gasleitung oder dem Wechsel auf ein anderes Gas mehrfach mit Inertgas Druck aufgebaut und abgelassen wird?

  1. AZyklisches Spülen (Cycle Purge)
  2. BTrockenätzen
  3. CTempern (Anneal)
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Antwort: A. Zyklisches Spülen (Cycle Purge)

Beim zyklischen Spülen wird die Leitung mit Inertgas wie Stickstoff unter Druck gesetzt und dann evakuiert oder abgelassen, und dies wird mehrfach wiederholt, um Restgas und Wasser zu verdünnen und auszutreiben. Da die Konzentration bei jedem Durchgang um einen festen Faktor sinkt, lässt sie sich bei einer Absenkung auf 1/10 pro Durchgang nach 5 Durchgängen auf ein Hunderttausendstel senken. Es wird z. B. beim Wechsel von Flaschen mit giftigen Gasen durchgeführt, um Sicherheit und Reinheit zu gewährleisten.

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