MEMS und Sensoren

Welches MEMS-Bearbeitungsverfahren erzeugt bewegliche Strukturen durch Bearbeiten auf dem Substrat gestapelter Dünnfilme?

  1. ABulk-Mikromechanik
  2. BOberflächen-Mikromechanik
  3. CDamascene-Verfahren
Antwort und Erläuterung anzeigen

Antwort: B. Oberflächen-Mikromechanik

Die Oberflächen-Mikromechanik stapelt und bearbeitet Dünnfilme aus Opferschicht (z. B. SiO2) und Strukturschicht (z. B. Polysilizium) auf dem Substrat und stellt die Struktur frei, indem am Ende die Opferschicht entfernt wird; Strukturen von einigen µm Dicke lassen sich in LSI-ähnlichen Prozessen herstellen. Das Verfahren, bei dem das Substrat selbst von der Rückseite tief abgetragen wird, um Membranen und Löcher zu erzeugen, ist die Bulk-Mikromechanik, die anisotropes Ätzen mit KOH oder Deep RIE verwendet und z. B. Membranen von Drucksensoren herstellt.

Dieses Thema üben Zur Themenseite

Weitere Fragen zu MEMS und Sensoren

  1. Welche Aussage zur Kombination von MEMS-Sensor und Signalverarbeitungsschaltung ist korrekt?
  2. Warum erfasst ein MEMS-Beschleunigungssensor auch im Ruhezustand eine Beschleunigung von etwa 1 G?
  3. Wie heißt die Verarbeitung, die Informationen von Beschleunigungssensor, Gyro, Magnetfeldsensor u. a. kombiniert, um Lage und Bewegung genauer zu bestimmen?
  4. Welchen Vorteil haben MEMS-Oszillatoren, die mitunter anstelle von Schwingquarzen als Taktquelle dienen?
  5. Welcher MEMS-Sensor misst den Durchfluss, indem er ausnutzt, dass die Wärme eines Heizers vom Gasstrom transportiert wird?