MEMS und Sensoren

Welcher MEMS-Sensor misst den Durchfluss, indem er ausnutzt, dass die Wärme eines Heizers vom Gasstrom transportiert wird?

  1. AThermischer Flusssensor
  2. BHall-Element
  3. CDMD
Antwort und Erläuterung anzeigen

Antwort: A. Thermischer Flusssensor

Ein thermischer Flusssensor ordnet auf einer thermisch isolierten dünnen Membran von etwa 1 µm Dicke einen Heizer sowie davor und dahinter Temperatursensoren an. Strömt Gas, wird die Stromaufwärtsseite gekühlt und die Stromabwärtsseite erwärmt, sodass aus der Temperaturdifferenz Durchfluss und Strömungsrichtung bestimmt werden. Wegen der dünnen Membran und der geringen Wärmekapazität ist das Ansprechen schnell und der Verbrauch gering. Er wird für die Ansaugluftmenge von Motoren (Luftmengenmesser), Gaszähler und medizinische Geräte wie Beatmungsgeräte eingesetzt.

Dieses Thema üben Zur Themenseite

Weitere Fragen zu MEMS und Sensoren

  1. Welcher Vorteil gilt für RF-MEMS-Schalter, die Hochfrequenzsignale durch mechanisches Öffnen und Schließen von Kontakten schalten?
  2. Welcher Temperatursensor nutzt die Eigenschaft, dass sich der elektrische Widerstand stark mit der Temperatur ändert?
  3. Welche Größenordnung beweglicher MEMS-Strukturen ist am ehesten zutreffend?
  4. Welches Prinzip hat der optische Sensor zur Messung der Herzfrequenz am Handgelenk, etwa in Smartwatches?
  5. Welchen Sensor verwenden Smartphones, um die Bildschirmhelligkeit automatisch an die Umgebungshelligkeit anzupassen?