MEMS und Sensoren

Welcher Vorteil gilt für RF-MEMS-Schalter, die Hochfrequenzsignale durch mechanisches Öffnen und Schließen von Kontakten schalten?

  1. ASie sind stets schneller als Halbleiterschalter
  2. BDa sie keine Kontakte haben, gibt es überhaupt keinen Verschleiß
  3. CSie schalten mit geringer Einfügedämpfung und geringer Signalverzerrung
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Antwort: C. Sie schalten mit geringer Einfügedämpfung und geringer Signalverzerrung

RF-MEMS-Schalter öffnen und schließen Metallkontakte, indem winzige bewegliche Elektroden elektrostatisch bewegt werden; der Einschaltwiderstand ist niedrig, die Kapazität im ausgeschalteten Zustand mit einigen fF klein, die Einfügedämpfung mit etwa 0.1 bis 0.5 dB niedrig, und Verzerrungen durch Nichtlinearität wie bei Halbleiterschaltern treten kaum auf. Probleme sind dagegen, dass das Schalten einige µs bis einige zehn µs dauert, Lebensdauer und Zuverlässigkeit durch Kontaktverschleiß und Haften sowie dass zum Ansteuern einige zehn V nötig sind.

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