MEMS und Sensoren
Welchen Vorteil haben MEMS-Oszillatoren, die mitunter anstelle von Schwingquarzen als Taktquelle dienen?
- ADie Frequenzstabilität ist stets höher als bei Quarz
- BDa sie im Halbleiterprozess hergestellt werden, sind sie klein, stoßfest und leicht mit ICs zu integrieren
- CSie sind groß und leicht zu handhaben
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Antwort: B. Da sie im Halbleiterprozess hergestellt werden, sind sie klein, stoßfest und leicht mit ICs zu integrieren
Ein MEMS-Oszillator kombiniert einen winzigen Siliziumresonator mit Schaltungen für Ansteuerung, Temperaturkompensation und PLL und lässt sich im Halbleiterprozess in Serie fertigen. Da sich die Resonanzfrequenz von Silizium stark mit der Temperatur ändert, wird per Schaltung korrigiert, und in jüngerer Zeit sind auch Genauigkeiten von etwa ±einigen ppm erreichbar. Sie sind klein, stoß- und vibrationsfest, die Frequenz ist frei einstellbar, und die Versorgung ist leicht stabil, weshalb sie in Fahrzeuggeräten und Wearables anstelle von Quarz eingesetzt werden.