MEMS und Sensoren

Welches Detektionsprinzip haben Halbleitergassensoren aus z. B. Zinnoxid?

  1. ADas Gas leuchtet durch seine Temperatur
  2. BDas Gas verändert den Schall
  3. CDas nachzuweisende Gas adsorbiert und reagiert an der Oberfläche, wodurch sich der elektrische Widerstand des Sensormaterials ändert
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Antwort: C. Das nachzuweisende Gas adsorbiert und reagiert an der Oberfläche, wodurch sich der elektrische Widerstand des Sensormaterials ändert

Bei Halbleitergassensoren adsorbiert Sauerstoff an der Oberfläche von auf etwa 300 bis 400 ℃ erhitztem Zinnoxid (n-Halbleiter) und fängt Elektronen ein, wodurch an den Korngrenzen Barrieren entstehen und der Widerstand hoch ist. Sind brennbare oder reduzierende Gase vorhanden, reagieren sie mit dem adsorbierten Sauerstoff, die Elektronen kehren zurück, und der Widerstand sinkt. Sie wurden in den 1960er-Jahren in Japan praxistauglich und werden breit in Gaslecksensoren eingesetzt. Sie sind preiswert und hochempfindlich, können Gasarten aber schlecht unterscheiden.

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