Lithografie
Welchen Zweck hat eine Phasenschiebermaske?
- ADie Phase des durch benachbarte Öffnungen tretenden Lichts zu ändern und durch Interferenz Auflösung und Kontrast zu erhöhen
- BDie Maske leichter zu machen
- CDie Lichtmenge der Belichtung zu verdoppeln
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Antwort: A. Die Phase des durch benachbarte Öffnungen tretenden Lichts zu ändern und durch Interferenz Auflösung und Kontrast zu erhöhen
Eine Phasenschiebermaske verschiebt die Phase des durch einen Teil der Maske tretenden Lichts um 180°, sodass sich die Amplituden an der Grenze des Lichts benachbarter Strukturen auslöschen, dunkle Bereiche dunkler werden und der Kontrast an den Strukturgrenzen steigt. Es gibt den Alternating-Typ (Levenson), bei dem die Phase benachbarter Strukturen abwechselnd invertiert wird, und den Halbton-Typ, bei dem der lichtabschirmende Bereich als phasenumkehrender Film (MoSi usw.) ausgeführt ist, der etwas Licht durchlässt; der Halbton-Typ wird bei der ArF-Belichtung breit eingesetzt.