Moderne Transistoren (FinFET, GAA)
Was trifft auf den Kurzkanaleffekt bei MOSFETs zu?
- ABei kürzerer Gate-Länge wird die Gate-Kapazität unendlich
- BBei kürzerer Gate-Länge verdoppelt sich die Kanalbeweglichkeit stets
- CBei kürzerer Gate-Länge sinkt die Schwellspannung, und der Leckstrom im Sperrzustand steigt
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Antwort: C. Bei kürzerer Gate-Länge sinkt die Schwellspannung, und der Leckstrom im Sperrzustand steigt
Mit kürzerer Gate-Länge werden die Verarmungszonen von Source und Drain relativ größer, und ein Teil der Kanalladung wird nicht mehr vom Gate, sondern von Source und Drain beherrscht. Dadurch sinkt die Schwellspannung (Roll-off), die Schwellspannung nimmt mit der Drain-Spannung ab (DIBL), der Subthreshold-Faktor verschlechtert sich, und der Leckstrom im Sperrzustand steigt. Problematisch ist zudem, dass sich die Eigenschaften schon bei geringer Änderung der Gate-Länge durch Fertigungsstreuung stark verändern.