Werden Silizium gleichzeitig XeF2-Gas und ein Argonionenstrahl ausgesetzt, schreitet das Ätzen weit schneller voran als die Summe der Einzelwirkungen. Welche Eigenschaft des Trockenätzens zeigt dies?

Antwort: C. Die synergistische Wirkung von Ionen und Radikalen (Ion-Assisted Etching)

In den Experimenten von Coburn und Winters 1979 war die Ätzrate mit XeF2 allein oder mit Argonionen allein gering, bei gleichzeitigem Einsatz beider aber etwa das Zehnfache der Summe der Einzelwerte. Der Ionenbeschuss erzeugt an der Oberfläche eine gestörte, leicht reagierende Schicht und fördert auch die Desorption der Reaktionsprodukte. Durch diese synergistische Wirkung (Ion-Assisted) wird nur der Boden, auf den Ionen treffen, schnell abgetragen, und beim reaktiven Ionenätzen ist schnelle, anisotrope Bearbeitung möglich.