Welche Hauptrolle hat der in großer Menge zusammen mit den Prozessgasen zugeführte Wasserstoff (H2) beim epitaktischen Wachstum von Silizium?

Antwort: C. Er ist Trägergas für die Prozessgase und erzeugt eine reduzierende Atmosphäre, die die Oberfläche sauber hält

Beim epitaktischen Wachstum von Silizium werden Prozessgase wie Trichlorsilan mit viel Wasserstoff verdünnt in den Reaktor geleitet. Wasserstoff dient als Trägergas für die Ausgangsstoffe und nimmt zugleich als Reduktionsmittel an der Reaktion teil, verhindert in der reduzierenden Atmosphäre die Oxidation der Oberfläche und führt das bei der Reaktion entstandene Chlor als Chlorwasserstoff ab. Außerdem sättigt Wasserstoff die freien Bindungen der Siliziumatome an der Oberfläche und hält sie sauber.