Welche Methode beobachtet bei MBE das Wachstum in situ, indem ein Elektronenstrahl unter flachem Winkel auf die wachsende Oberfläche gerichtet und das Beugungsbild ausgewertet wird?

Antwort: B. RHEED (Beugung hochenergetischer Elektronen in Reflexion)

Bei RHEED wird ein Elektronenstrahl von 10 bis 30 keV unter einem streifenden Winkel von etwa 1 bis 3° auf die wachsende Oberfläche gerichtet und das Beugungsmuster auf einem Leuchtschirm beobachtet. Daraus erkennt man die Ebenheit der Oberfläche und Rekonstruktionen; bei lagenweisem Wachstum ändert sich die Rauheit der Oberfläche periodisch, und die Intensität oszilliert, sodass sich die Zahl der aufgewachsenen Lagen in situ zählen lässt. Es ist eine Beobachtungsmethode, die der MBE im Ultrahochvakuum eigen ist, wo Elektronenstrahlen nicht von Gasmolekülen gestreut werden.