Welche Methode misst die Dicke einer niedrig dotierten Epischicht auf einem hochdotierten Substrat mittels Interferenz von Infrarotlicht?

Antwort: C. Fourier-Transform-Infrarotspektroskopie (FTIR)

Da hochdotierte Substrate viele freie Ladungsträger haben, unterscheidet sich ihr Brechungsindex für Infrarotlicht geringfügig von dem der niedrig dotierten Epischicht, und an der Grenzfläche tritt Reflexion auf. Wird der Abstand der Interferenzstreifen des an Oberfläche und Grenzfläche reflektierten Lichts mit FTIR gemessen, lässt sich die Dicke der Epischicht zerstörungsfrei und berührungslos innerhalb weniger Sekunden bestimmen. Bei geringem Konzentrationsunterschied zwischen Substrat und Epischicht ist die Reflexion an der Grenzfläche schwach und die Messung nicht möglich; dann werden Querschnittsbeobachtung oder C-V-Messung verwendet.