Schichtabscheidung (CVD, PVD)
Welche Aussage zur Kantenbedeckung (Stufenbedeckung, Step Coverage) bei der Schichtabscheidung ist richtig?
- ASie gibt an, wie dick die Schicht an Seitenwänden und Boden von Stufen im Vergleich zu ebenen Bereichen wird
- BSie gibt den elektrischen Widerstand der Schicht an
- CSie gibt die Abscheiderate pro Minute an
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Antwort: A. Sie gibt an, wie dick die Schicht an Seitenwänden und Boden von Stufen im Vergleich zu ebenen Bereichen wird
Die Kantenbedeckung gibt an, wie dick die Schicht an Seitenwänden und Boden von Stufen wie Gräben oder Löchern im Vergleich zu ebenen Bereichen wird, z. B. als Prozentsatz von „Schichtdicke am Boden ÷ Schichtdicke an der Oberseite“. Im Allgemeinen ist sie bei PVD wie Sputtern wegen der geradlinig fliegenden Atome niedrig (am Boden tiefer Löcher auch unter 10 %), bei CVD durch Oberflächenreaktionen mit Umgriff höher und bei ALD nahezu 100 %. Bei Barriereschichten und Gate-Schichten, die in feinen Löchern dünn und gleichmäßig sein müssen, bestimmt diese Kenngröße die Wahl des Abscheideverfahrens.