Reinraum und Fertigungsanlagen

Was ist der Hauptgrund dafür, bei Fußböden und Arbeitstischen im Reinraum leitfähige (Ladung ableitende) Materialien zu verwenden?

  1. AUm den Boden glänzen und heller erscheinen zu lassen
  2. BUm zu verhindern, dass Bauelemente durch elektrostatische Entladung bei Aufladung zerstört werden oder Partikel durch statische Anziehung haften bleiben
  3. CUm den Boden durch Stromfluss zu erwärmen
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Antwort: B. Um zu verhindern, dass Bauelemente durch elektrostatische Entladung bei Aufladung zerstört werden oder Partikel durch statische Anziehung haften bleiben

Im Reinraum gibt es viele Kunststoffbehälter und Kleidungsstücke, und die Umgebung ist trocken, sodass sich leicht statische Ladung ansammelt. Entlädt sich ein aufgeladener Gegenstand oder eine Person (ESD), können Bauelemente zerstört werden, und aufgeladene Wafer ziehen Partikel an. Durch die Kombination leitfähiger Böden und Arbeitstische, geerdeter Handgelenkbänder und leitfähiger Schuhe wird die Ladung zur Erde abgeleitet. Das Aussehen oder eine Fußbodenheizung sind nicht der Zweck.

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