Wie ändert sich mit fortschreitender Miniaturisierung der Schaltungen die Partikelgröße, die im Reinraum kontrolliert werden muss?

Antwort: B. Sie wird kleiner

Partikel, die im Vergleich zu den Strukturabmessungen nicht vernachlässigbar sind, verursachen Defekte wie Kurzschlüsse oder Unterbrechungen von Leitungen. Als Richtwert können Partikel von etwa der halben Linienbreite kritisch werden; mit kleineren Linienbreiten und Abständen müssen daher immer kleinere Partikel kontrolliert werden, und die geforderte Reinheit wird strenger. Zugleich sind kleinere Partikel schwerer nachzuweisen, sodass auch die Messtechnik Fortschritte machen muss.