Reinraum und Fertigungsanlagen
Wie wird bei einem Reinraum nach dem Bay-Chase-Prinzip üblicherweise die Reinheit des Wartungsbereichs (Chase) hinter den Anlagen behandelt?
- AEr wird mit der höchsten Reinheit der Fabrik betrieben
- BEr hat dieselbe Umgebung wie im Freien
- CEr wird häufig mit geringerer Reinheit betrieben als der Arbeitsbereich (Bay), in dem Wafer gehandhabt werden
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Antwort: C. Er wird häufig mit geringerer Reinheit betrieben als der Arbeitsbereich (Bay), in dem Wafer gehandhabt werden
Beim Bay-Chase-Prinzip wird der Arbeitsbereich (Bay), in dem Wafer gehandhabt werden, auf hoher Reinheit gehalten, während der Wartungsbereich (Chase) hinter den Anlagen häufig mit geringerer Reinheit betrieben wird. Die Anlagen sind gewissermaßen in die Wand eingelassen, und nur die Bedienseite ragt in die Bay, sodass bei Wartungsarbeiten erzeugte Partikel nicht in die Bay gelangen. Durch die abgestufte Reinheit lassen sich Bau- und Betriebskosten senken.