Reinraum und Fertigungsanlagen

Welches Element, das z. B. aus Glasfaserfiltern freigesetzt wird, kann eine unbeabsichtigte Dotierung (Kontamination) von Wafern verursachen?

  1. ABor
  2. BGold
  3. CEisen
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Antwort: A. Bor

Manche HEPA-Filter aus Glasfaser verwenden Borosilikatglas; durch Reaktion mit z. B. Flusssäuredampf können borhaltige Gase freigesetzt werden. Lagert sich dieses auf der Waferoberfläche ab, wirkt es als p-leitender Dotierstoff, bewirkt unbeabsichtigte Dotierung und verschiebt die Eigenschaften. Daher werden Filter mit borarmem Filtermedium und chemische Filter verwendet. Gold und Eisen sind Metallkontaminationen, die tiefe Niveaus erzeugen, und keine typischen Filterquellen.

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