當有多台相同種類的設備時，以使設備或腔體之間加工結果的差異變小的方式進行調整、管理，稱為什麼？

正確答案：B. 腔體匹配（設備間的匹配）

在量產工廠中，同一道製程由多台設備、腔體並行處理，因此若各自的加工結果有差異，產品的特性就會因通過哪台設備而產生變異。以使零件的狀態、感測器的數值與加工結果一致的方式進行調整、監控，稱為腔體匹配。零件更換或維護之後也需要確認，對於降低變異以及方便設備的調度使用不可或缺。

• A. 微影是轉印圖案的製程。
• B. 正確。這是縮小設備間差異的調整與管理。
• C. 吸附（Gettering）是捕捉有害雜質的技術。