同じ種類の装置が複数台あるとき、装置やチャンバーの間で加工結果の差が小さくなるように調整・管理することを何と呼ぶか。

正解：B. チャンバーマッチング(装置間の合わせ込み)

量産工場では同じ工程を多数の装置・チャンバーで並行して処理するため、それぞれの加工結果に差があると、製品の特性がばらつきます。部品の状態やセンサの値、加工結果をそろえるように調整・監視することをチャンバーマッチングといい、ばらつきの低減に欠かせません。

• A. リソグラフィはパターンを転写する工程です。
• B. 正しい。装置間の差を小さくする調整・管理です。
• C. ゲッタリングは有害な不純物を捕らえる技術です。